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廣州市譜源氣體有限公司
電子氣體在高新技術(shù)中的應(yīng)用
2012-2-14 15:23:42
進(jìn)入20世紀(jì)90年代以后，隨著我國高新技術(shù)的快速發(fā)展，計算機(jī)工業(yè)對大規(guī)模集成電路、液晶顯示器的需求大量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國大力開拓了多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的生產(chǎn)；此外，新型電光源、光電半導(dǎo)體器件（GaAs、InP、AlGaAs）、光纖通訊器件也獲得迅猛發(fā)展，在上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。
大規(guī)模集成電路
化學(xué)氣相沉淀：SiH4，NH3，O2，N2O，TEOS（四乙氧基硅）
化學(xué)刻蝕：CF4，SF6，NF3，Cl2，CCl，BCl3，KrF，ArF，HBr，HCl
化學(xué)摻雜：BF3，B2H6，PH3，AsH3
化學(xué)氣相沉淀：SiH4，NH3，O2，N2O，TEOS（四乙氧基硅）
化學(xué)刻蝕：CF4，SF6，NF3，Cl2，CCl，BCl3，KrF，ArF，HBr，HCl
化學(xué)摻雜：BF3，B2H6，PH3，AsH3
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