高功率準分子激光氣體 | ||
可用波長 |
193 nm |
ArF |
248 nm |
KrF | |
308 nm |
XeCl | |
450nm~520nm |
XeF | |
最大紫外功率 |
540 W | |
最大紫外能量 |
1100 mj | |
重復頻率 |
可變, 1~600 Hz | |
脈沖穩定性 |
0.5%~1%,rms | |
長期漂移 |
0.1%~0.5%,rms | |
光束分布 |
均勻,平頂 | |
脈沖寬度 |
10~20 ns | |
相關氣體純度 |
F2, 99.9% Ar, 99.9999% He, 99.9999% Ne, 99.9999% HCl, 電子級 Kr, 99.999% Xe, 99.999% O2, 99.999% H2, 99.999% | |
氣體工作溫度 |
- 40 0C ~ + 74 0C | |
氣體壓力 |
520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar | |
鋼瓶規格 |
10L、16L、20L、50L | |
閥門接口 |
CGA 679、CGA 330、CGA 580、DIN 6、DIN 8、DIN 14 | |
安全手冊 |
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適用機型 |
波長 nm |
鋼瓶規格 |
閥門規格 |
工作氣體 |
鷹視(COHERENT) |
193 |
20 L |
DIN 8 |
F2, 99.9% Ar, 99.9999% He, 99.9999% Ne, 99.9999% |
博士倫(B & L) |
193 |
20 L、50 L |
DIN 8 | |
蔡司(ZEISS) |
193 |
10L、20 L |
DIN 8 | |
威視(VISX) |
193 |
16 L |
CGA 679 | |
尼德克(NIDEK) |
193 |
16 L |
CGA 679 | |
雷賽(LASERSIGHT) |
193 |
10 L |
CGA 679 | |
愛爾康(Alcon) |
193 |
16 L |
CGA 679 | |
康奧(SCHWIND) |
193 |
20 L |
DIN 8、 DIN 14 | |
視可佳(六六視覺) |
193 |
16 L |
CGA 679 | |
森美(SUMMIT) |
193 |
16 L |
CGA 679 | |
科醫人(COHERENT) |
308 |
8 L |
CGA 330 |
HCl,電子級 Xe,99.9995% Ne,99.9999% |
美國 Photomedex |
308 |
8 L |
CGA 330 |
品 牌 |
機 型 |
波 長 |
工作氣體 |
ATL |
ATL ARF-1 |
193 nm |
F2,Ar,Xe,Ne |
ATL KRF-1 |
248 nm |
F2,Kr,Xe,Ne | |
TUI |
CTFTS-ARFV 2.2 |
193 nm |
F2,Ar,He,Ne |
CTFTS-KRFV 2.1 |
248 nm |
F2,Kr,He,Ne | |
CTFTS-KRFV 2.2 |
248 nm |
F2,Kr,He,Xe,Ne | |
CTMD-ARFV 2.0 |
193 nm |
F2,Ar,He,O2,Ne | |
CTMD-XECLV 2.1 |
308 nm |
HCl,H2,Xe,Ne | |
CTMN-ARFV 2.0 |
193 nm |
F2,Ar,He,Ne | |
CTMN-ARFV 2.1 |
193 nm |
F2,Ar,He,Ne | |
CTMN-KRFV 1.0 |
248 nm |
F2,Kr,He,Ne | |
CTMN-KRFV 2.0 |
248 nm |
F2,Kr,He,Ne | |
CTMN-XECLV 2.0 |
308 nm |
HCl,H2,Xe,Ne | |
CTMN-XECLV 5.0 |
308 nm |
HCl,H2,Xe,Ne | |
CTMN-XEFV 1.1 |
450nm~520nm |
F2,Xe,He,Ne | |
CTMN-XEFV 1.2 |
450nm~520nm |
F2,Xe,He,Ne | |
GAM Laser |
EX5 ArF |
193 nm |
F2,Ar,He,O2,Ne |
EX5 KrF |
248 nm |
F2,Kr,He,Ne | |
EX5 XeCl |
308 nm |
HCl,H2,Xe,Ne | |
EX10 |
193 nm |
F2,Ar,He,Ne | |
EX50 |
193 nm |
F2,Ar,He,Ne | |
EX100 |
193 nm |
F2,Ar,He,Ne | |
Photomedex |
XeCl |
308 nm |
HCl,Xe,Ne |
Photoscribe |
ArF |
193 nm |
F2,Ar,Ne |
KrF |
248 nm |
F2,Kr,Ne | |
Potomac Photonics |
ArF |
193 nm |
F2,Ar,Ne |
KrF |
248 nm |
F2,Kr,Ne | |
Spectranetics |
XeCl |
308 nm |
HCl,H2,Xe,Ne |