容器規格 |
容器尺寸 (cm) |
平均總重(kg) |
閥門/螺紋出口 |
充裝量(kg) |
40L |
22×140 |
100 |
QF-2/螺紋G5/8或CGA590 |
50 |
43LDOT |
23×140 |
1 |
CGA590 |
45.4 |
成分 |
|
六氟化硫 |
六氟化硫 |
單位 |
六氟化硫 |
≥ |
99.99% | 99.999% | %V |
空氣 |
≤ |
30 | 5 | ppmv |
四氟化碳 |
≤ |
30 | 4 | ppmv |
水份 |
≤ |
1 | 1 | ppmv |
酸度(以HF計) |
≤ |
0.1 | 0.1 | ppmv |
可水解氟化物 (以HF計) |
≤ |
0.2 | 0.1 | ppmv |
礦物油 |
≤ |
0.5 | 0.5 | ppmv |
生物試驗 |
≤ |
無毒 | 總碳≤0.5ppmv |
溫度 |
壓縮系數 | |||
100kPa |
1000kPa |
2000kPa |
3000kPa | |
15 |
0.9886 |
0.8656 |
|
|
50 |
0.9926 |
0.9137 |
0.8113 |
0.6760 |