熱門下載
聯系粵佳
廣州市譜源氣體有限公司
六氟乙硅烷《氣體應用大全》
2014-3-6 23:00:17
六氟乙硅烷Si2F6
1.別名·英文名
六氟化二硅；Disilicon hexafluoride、Hexafluorodisilane．
2.用途
含氟非晶硅膜，非晶硅的原料氣。
3.制法
(1)
(2)
4.理化性質
分子量： 170.16
升華溫度(101.325kPa)： -19.1℃
三相點(103.991kPa)： -18.7l℃
液體密度(0℃)： 5997kg/m3
氣體密度(0℃)： 7.76kg/m3
臨界溫度： 71℃
熔化熱(103.991kPa，-18.7℃)： 95.9598kJ/kg
氣化熱(103.991kPa，-18.7℃)： 159.933kJ/kg
升化熱： 255.8928kJ/kg
蒸氣壓(-50.2℃)： 5.706kPa
(-24.9℃)： 65.595kPa
(-6.5℃)： 186.918kPa
六氟乙硅烷在常溫常壓下為具有強刺激臭的無色有毒氣體，在空氣中不燃燒。在水中水解生成H2、H2SiO4、H2SiF6、
H2Si2O4等。
Si2F6+4H2O→6HF+H2Si2O4
6HF+H2Si2O4→H2+H2SiF6+H4SiO4
H4SiO4+6HF→4H2O+H2SiF6
在室溫，即使與氯混合也不反應，但是當加熱時產生激烈反應而生成SiF4、SiClF2、SiCl2F2等。
5.毒性·安全防護
當六氟乙硅烷漏到大氣中時與水分反應生成硅氟酸和氫氟酸。因此，可以認為它的毒性和硅氟酸、氫氟酸相同。
最高容許濃度：2.5mg/m3
探漏方法，一是靠其強烈的刺激臭，二是靠其在空氣中水解生成的SiO2白煙。
廢氣直接排大氣是危險的，而且是防止大氣污染所不允許的。所以，一般用水吸收處理。在用水吸收處理時，水解產生氫氣，因此，對氫氣需要采取一定的措施。
上一篇：四氟化鍺《氣體應用大全》
下一篇：四氟硅烷《氣體應用大全》
