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廣州市譜源氣體有限公司
三氟硅烷《氣體應用大全》
2014-3-6 22:30:54
1.別名·英文名
Trifluorosilane．
2.用途
含氟非晶硅膜、非晶硅的原料氣。
3.制法
(1)4SiCl3+3SnF4→4SiHF3+3SnCl4SbCl5
(2)
(3)4SiHCl3+3TiF4—→4SiHF3+3TiCl4
4.理化性質
分子量： 86.09
熔點： -131.4℃
沸點(101．325kPa)： -95.0℃
氣體密度： 2.97kg/m3
臨界溫度： -10℃
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)： 735.328J/(kg·K)
蒸氣壓(-132.9℃)： 2.666kPa
(-102.8℃)： 53.329kPa
(-90.9℃)： 125.256kPa
三氟硅烷在常溫常壓下為具有強刺激臭的無色氣體。在常溫緩慢地進行分解。加熱時也分解。但是在液氮溫度下停止分解。
4SiHF3→3SiF4+SiH4
在空氣中燃燒時發出淡青色火焰(著火溫度比SiHCl3高)。
12SiHF3+6O2→3SiF4+3SiO2+4HzSiF6+2H2SiO3
在水或苛性蘇打水溶液中水解產生氫氣
2SiHF3+(x+2) H2O—→SiO2·XH2O+H2SiF6+2H2
與乙醇反應生成氫氣和正硅酸酯Si(OR)4。與濃硝酸作用生成NO2氣體。與氨、胺反應生成加合物。
5.毒性·安全防護
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