指 標 名 稱 |
規 格 | |||||
高純氦氣 |
純氦氣 |
工業氦氣 | ||||
一級品 |
二級品 |
一級品 |
二級品 | |||
氦氣含量 |
99.999% |
99.995% |
99.99% |
99.9% |
99.0% | |
氖氣含量, ppm≤ |
4.0 |
15 |
40 |
≤ 0.1% |
≤ 1.0% | |
氫氣含量, ppm≤ |
1.0 |
3.0 |
7.0 | |||
氧氣、氬總含量, ( 以氧計 ) ppm≤ |
1.0 |
3.0 |
5.0 | |||
氮氣含量 , ppm≤ |
2.0 |
10 |
25 | |||
一氧化碳含量, ppm≤ |
0.5 |
1.0 |
1.0 | |||
二氧化碳含量, ppm≤ |
0.5 |
1.0 |
1.0 | |||
甲烷含量, ppm≤ |
0.5 |
1.0 |
1.0 | |||
水份含量, ppm≤ |
3.0 |
10 |
20 |