熱門下載
聯系粵佳
廣州市譜源氣體有限公司
CHF3_電子工業用氣體 三氟甲烷國家標準GB_T 34085-2017
2019-7-2 15:01:00
一、范圍
本標準規定了電子工業用三氟甲烷的技術要求、試驗方法以及包裝 、標志 、貯運及安全。
本標準適用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氫為原料制備的三氟甲烷產品，它在電子工業等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體。
分子式：CHF3
二、技術要求
三氟甲烷的質量應符合表1的要求
三、三氟甲烷純度計算
四、包裝、標志、貯運及安全
1、包裝三氟甲烷的氣瓶應符合GB/T 5099的規定。
2、推薦使用進行內表面處理的氣瓶，處理后的氣瓶應滿足本標準的要求。瓶閥出氣口連接方式推薦使用CGA320。
3、應防止瓶口被污染和泄漏。
4、包裝容器上應標明“電子級三氟甲烷”字樣。
5、三氟甲烷產品應存放在陰涼、干燥、通風的庫房內，嚴禁暴曬、遠離熱源。
6、三氟甲烷在常溫常壓下具有窒息性、無色無味氣體，空氣中不燃燒。接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐，有麻醉作用。
7、三氟甲烷與高溫表面或火焰接觸時，分解生成腐蝕性和毒性都極高的氟化氫煙霧。
8、接觸三氟甲烷氣體可能引起心律失常和窒息。吸入蒸氣可能引起中樞神經系統抑郁。液態時濺到皮膚上能引起灼傷。
