容器規格 |
容器尺寸 (cm) |
平均重量 (kg) |
閥門/螺紋出口 |
充裝量 |
40L |
22×140 |
59 |
QF-2 螺紋G5/8 |
13.5MPa/5.4Nm3/59kg |
175L杜瓦罐 |
51×160 |
336 |
QF-2 螺紋G5/8 |
220kg |
20~100m3儲槽 |
260×800以上 |
3200以上 |
按客戶需求 |
28~140噸 |
成分 |
|
純氬 |
高純氬氣 |
超純氬氣 |
單位 |
氬氣 |
≥ |
99.99% | 99.999% | 99.9999% | %V |
氫氣 |
≤ |
5 | 0.5 | 0.1 | ppmv |
氧氣 |
≤ |
10 | 1.5 | 0.5 | ppmv |
氮氣 |
≤ |
50 | 4 | 0.2 | ppmv |
甲烷+一氧化碳+二氧化碳 |
≤ |
5+5+10 | 1 | 0.1+0.1+0.1 | ppmv |
水份 |
≤ |
15 | 3 | 0.2 | ppmv |
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