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自主開發(fā)的超純氫氣純化裝置建成
2016-6-2 15:14:21
由中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所甲烷高效轉(zhuǎn)化新材料與新過程研究組研制的高性能金屬鈀復(fù)合膜材料和800m3/h規(guī)模超純氫氣純化技術(shù)進(jìn)行了工業(yè)應(yīng)用示范試驗(yàn)并獲得成功。這是我國自主開發(fā)的國際上首套利用廉價(jià)金屬鈀復(fù)合膜進(jìn)行超純氫氣純化的工業(yè)應(yīng)用示范裝置。
由科技部高技術(shù)中心組織的專家組對大連化物所和華海制氫設(shè)備有限公司承擔(dān)的國家“863”膜專項(xiàng)課題“超純氫氣分離膜材料及規(guī)?；苽浼夹g(shù)”進(jìn)行了現(xiàn)場測試。在800m3/h裝置上，采用純度為99.92%的氫氣作為原料，可以獲得純度為99.99995%的超純氫氣，氫氣回收率達(dá)到91.2%，氫氣產(chǎn)量為847m3/h。
同時(shí)，專家還對另外一套30m3/h超純氫技術(shù)示范裝置進(jìn)行了現(xiàn)場測試，結(jié)果如下：采用純度為99.9995%的氫氣作為原料氣，可以獲得純度>99.999999%的超純氫氣，氫氣回收率達(dá)到91.68%，氫氣產(chǎn)量為30.66m3/h。
超純氫氣廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、LED和多晶硅等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。該工業(yè)應(yīng)用示范裝置的成功開車，標(biāo)志著我國具有自主知識產(chǎn)權(quán)的超純氫氣純化技術(shù)，可以為上述戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)提供廉價(jià)的超純氫氣原料。
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