工業級 |
95% |
化學純級 |
99.0% |
高純級 |
99.9%~99.97% |
研究級和CVD級 |
99.99% |
超高級純 |
99.995% |
項目 |
指標 | ||
|
優等品 |
一等品 |
合格品 |
甲烷純度/% |
99.995 |
99.99 |
99.9 |
乙烷含量/10-6 |
15 |
25 |
600 |
氧(氬)含量/10-6 |
5 |
10 |
50 |
氮含量/10-6 |
15 |
35 |
250 |
氫含量/10-6 |
5 |
10 |
50 |
水含量/10-6 |
5 |
15 |
50 |