最新電子級特種氣體生產項目落戶重慶市
2017-6-22 9:18:42
近日，中歐電子氣體及材料公司電子級特種氣體生產項目簽約落戶重慶市長壽經開區。
該項目由邦盟（日本）資本有限公司投資4.6億元，分兩期建設年產5735噸電子級特種氣體生產基地，計劃今年11月開工，2018年3月一期建成投產，整個項目達產后將實現年產值約10億元。該項目為重慶市首個電子級特種氣體生產項目，主要生產六氟化鎢、三氟化氮等27種（類）電子級特種氣體，部分產品填補國內空白，可滿足集成電路、液晶面板生產工藝對高純特種氣體的需求。未來，還將在渝建設電子級特種氣體研發中心及設備生產基地。該項目的落戶，加強了該市電子專用原材料的本地配套能力，進一步完善了電子核心基礎部件產業鏈條，將有力助推重慶市戰略性新興產業發展。
說到電子氣體，下面譜源氣體給大家全面介紹多種電子氣體
摻雜氣：
該項目由邦盟（日本）資本有限公司投資4.6億元，分兩期建設年產5735噸電子級特種氣體生產基地，計劃今年11月開工，2018年3月一期建成投產，整個項目達產后將實現年產值約10億元。該項目為重慶市首個電子級特種氣體生產項目，主要生產六氟化鎢、三氟化氮等27種（類）電子級特種氣體，部分產品填補國內空白，可滿足集成電路、液晶面板生產工藝對高純特種氣體的需求。未來，還將在渝建設電子級特種氣體研發中心及設備生產基地。該項目的落戶，加強了該市電子專用原材料的本地配套能力，進一步完善了電子核心基礎部件產業鏈條，將有力助推重慶市戰略性新興產業發展。
說到電子氣體，下面譜源氣體給大家全面介紹多種電子氣體
摻雜氣：
AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、SeH2、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te
晶體生長氣：
SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、(CH3)3Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCl4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2
氣相蝕刻氣：
CL2、HCl、HF、HBr、SF6
等離子蝕刻氣：
SIF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、HFCl2、N2、He、Ar
離子束蝕刻氣：
C3F8、CHF3、CClF3、CF4
離子注入氣：
AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2
化學氣相淀集氣：
SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2
平衡氣：
N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2
外延氣：
SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar
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