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廣州市譜源氣體有限公司
電子四氟化碳CF4氣體性質
2017-12-4 10:49:49
質量標準:
分子式：CF4 分子量：88 | 項目 | 含量 | 單位 | |
| CF4 | ≥99.999 | %V | |
| O2+Ar | ≤1 | ppmv | |
| N2 | ≤4 | ppmv | |
| CO2 | ≤1 | ppmv | |
| CO | ≤1 | ppmv | |
| SF6 | ≤1 | ppmv | |
Other Halocarbons | ≤1 | ppmv | |
| H2O | ≤1 | ppmv | |
Acidity(HF) | ≤0.1 | ppmv |
性狀：
四氟化碳為永久氣體，在常溫常壓下為無色無臭的氣體?？諝庵胁蝗紵?，是比較穩定的無毒物質。
用途：
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于電子器件表面清洗，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
貯存：
陰涼通風、遠離熱源、倉溫不宜超過30℃，空瓶、滿瓶應分開存放。
運輸：
四氟化碳的運輸應符合《氣瓶安全監察規程》的相關規定。
包裝:
應充裝在經特殊處理的潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。
四氟化碳為永久氣體，在常溫常壓下為無色無臭的氣體?？諝庵胁蝗紵?，是比較穩定的無毒物質。
用途：
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于電子器件表面清洗，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
貯存：
陰涼通風、遠離熱源、倉溫不宜超過30℃，空瓶、滿瓶應分開存放。
運輸：
四氟化碳的運輸應符合《氣瓶安全監察規程》的相關規定。
包裝:
應充裝在經特殊處理的潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。
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